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> 磁控反应溅射制备的Ta2O5 薄膜的光学与介电性能
磁控反应溅射制备的Ta2O5 薄膜的光学与介电性能
磁控反应溅射制备的Ta2O5 薄膜的光学与介电性能
资料类型:
PDF文件
关键词:
氧化钽薄膜
光学性质
介电谱
资料大小:
256K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
采用直流磁控反应溅射技术,在不同的Ar/O2比条件下制备了系列Ta2O5薄膜样品,采用紫外-可见光透射光谱和椭偏光谱测试分析技术,研究了Ta2O5薄膜在可见光范围内的透射率、折射率和消光系数;同时还采用HP4192A阻抗分析仪测试分析了样品在500Hz~13MHz频段的介电谱,结果表明在300~700nm的可见光波长范围内,氧化钽薄膜的消光系数k→0,折射率n>2.0,透射率大约80%。500Hz下的低频介电常数ε的典型值为20.1。损耗角正切tg为19.9。
作者:
张幸福,魏爱香,刘毅
上传时间:
2008-08-27 16:18:44
下载次数:
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相关评论
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chczll
2008-11-18 10:54:10
很有用,谢谢
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